| 型號 | 驅動方式 | 控制單元 | 顯微鏡組 | 打光方式 | 倍率 | 型錄 |
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SG4025
| | 輪廓線點數：4096
掃描速度: 4.4~18kHz
X軸輪廓資料間隔：2.5μm
Z軸線性度(單點)：±1μm
Z軸重複精度(鏡面)：0.25μm | | | |
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SG1007
| | 輪廓線點數：1280
掃描速率：8.2~37kHz
X軸輪廓資料間隔：1.875μm
Z軸線性度(單點)：±0.25μm
Z軸重複精度(鏡面)：0.05μm | | | |
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SG1110
| | 輪廓線點數：1280
掃描速率：7.3~37kHz
X軸輪廓資料間隔：9.3μm
Z軸線性度(單點)：±4μm
Z軸重複精度(鏡面)：1μm | | | |
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